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Thüringer Forschungspreis an TU Ilmenau

Entwicklung eines neuartigen Nanopositionier- und Nanomessverfahrens

(2003-02-06 | br)
TU IlmenauIlmenau (itn/tui) - Die Forschergruppe "Nanomesstechnik" der TU Ilmenau wird mit dem mit 7000 Euro dotierten Forschungspreis 2002 der Thüringer Ministerin für Wissenschaft, Forschung und Kunst ausgezeichnet.

Die Ilmenauer Wissenschaftler erhalten den Preis in der Kategorie Angewandte Forschung für die Entwicklung eines neuartigen Nanopositionier- und Nanomessverfahrens. Unter Leitung von Professor Gerd Jäger erstellten die sechs Wissenschaftler der TU Ilmenau ein weltweit einzigartiges, innovatives Mess- und Positioniersystem. Es ermöglicht erstmals, Objekte in drei Raumkoordinaten im Nanometerbereich zu positionieren und zu messen. Insbesondere auf dem Gebiet der Nano- und Mikroelektronik, der Mikromechanik, der Molekularbiologie und der Werkstoffforschung werden solche Technologien benötigt.

Das an der TU Ilmenau entwickelte Verfahren ermöglicht erstmalig eine so genannte "abbefehlerfreie" Drei-Koordinatenmessung mit Nanometergenauigkeit. Durch ein intelligentes Regelungskonzept werden bislang unvermeidliche Führungsfehler mechanischer Führungen und somit Messfehler beseitigt.

Links zum Thema:
» TU Ilmenau

Damit ist der Grundstein gelegt, um erstmals auch in große Messbereiche vorzustoßen. Kein bisher bekanntes technisches Verfahren ist dazu in der Lage. Die in Kooperation mit der "SIOS Meßtechnik GmbH" (Ilmenau) konstruierte Nanopositionier- und Nanomessmaschine ermöglicht erstmals die Messung eines Bereiches von 25x25x5 Kubikmillimetern mit Nanometergenauigkeit bei einer Auflösung von 0,1 Nanometern und mit hoher Messgeschwindigkeit. Diese Messmaschine übertrifft damit einerseits die Auflösung konventioneller Koordinatenmessmaschinen um das 1000-fache und andererseits das Messvolumen bekannter Rasterkraftmikroskope um das 15-millionenfache. Damit ist sie die zur Zeit genaueste Nanopositionier- und Messmaschine.

Mit der Entwicklung gelang ein entscheidender Durchbruch in der Nanopositionier- und Nanomesstechnik, welcher von wesentlicher Bedeutung für die Nanotechnologien, Mikromechanik, Optik, Präzisionstechnik, Molekularbiologie, Werkstofforschung, Metrologie und andere Zukunftstechnologien ist. So ist es möglich, in beliebigen Strukturen (z. B. DNA, Genstrukturen) einzelne Moleküle wieder aufzufinden.

Dabei ist das neue Nanopositionier- und Nanomessverfahren ist nicht nur auf die gegenwärtig realisierte Messmaschine beschränkt. Es bildet vielmehr die Basis für eine ganze Familie von Nanopositionier- und Messmaschinen für unterschiedlichste Anwendungen. Auf der Grundlage des neuen Konzeptes wurde deshalb an der TU Ilmenau ein Sonderforschungsbereich bei der DFG beantragt und am 29. Mai 2002 für die nächsten drei Jahre bewilligt. In dem Sonderforschungsbereich arbeiten 15 Fachgebiete der TU Ilmenau in Forschung und Entwicklung zusammen.

Die Preise werden in einem Festakt am heutigen Donnerstag, dem 6. Februar, um 13.30 Uhr im Marcel-Callo-Haus in Heiligenstadt (Eichsfeld) durch die Thüringer Ministerin für Wissenschaft, Forschung und Kunst, Prof. Dr. Dagmar Schipanski, verliehen.


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